半导体工艺气体过滤
UHP工艺气体过滤器用于传统工艺气体过滤的常见问题，例如，过滤器可能释放有害杂质气体以及粒子脱落。在例行维护和发生系统扰乱时，颇尔卓越的过滤器利用行业领先的金属纤维技术，可以快速置换气体和实现分子透明性。无O型圈Gaskleen® IV和V PTFE膜可避免O型圈变形和过滤器旁路，否则用于临界氨气（NH3）和臭氧（O3）应用时与标准O型圈不相容时会导致出现该情况。
应用：
- 大宗气配送系统
- Fab设备使用点（POU）
优点：
- 减少与气体相关的缺陷
- 可定制滤材，过滤各种气体
- 行业领先的过滤器品质
- 减少脱气和颗粒物杂质
颇尔工艺气体过滤系统清除关键半导体UHP气流中的颗粒污染物。请联系颇尔专家，了解避免缺陷和提高产率以实现现场最大性能的更多信息。
有关提高工艺效率的更多信息，请联系我们的过滤专家团队。