探索微电子产品和解决方案

我们的产品支持通过创新技术使现有流程更容易、更快、更好。

微电子过滤解决方案可降低运营和维护成本，大幅提高设备 OEE 和可用性，延长化学品寿命，减少缺陷，并最大限度提高产品质量和产量。

Pall 过滤系统已成功将其成熟的系统集成到微电子中，以降低成本、提高可靠性并最大程度地提高电子制造工艺的效率。随着业务的不断增长，为了实现高效的生产工艺，颗粒、杂质和污染控制变得极为关键。解决这些挑战直接影响运行时间、维护频率、产品质量、资本设备寿命和整体业务绩效。

半导体器件的产量长期以来一直受到流体和气流中杂质的影响。随着工艺节点不断缩小，特征尺寸和几何形状变得越来越复杂，制造过程中对污染的敏感性显著增加。金属、颗粒和碳氢化合物等杂质直接影响工艺的每个步骤，从而导致更高的工艺冲洗量、更多的化学品使用、昂贵的停机时间和生产线产量的显著下降

先进节点半导体制造需要极其洁净的流体流，从而推动对高端过滤和净化解决方案的需求。更严格的污染控制可以显著提高产量，产量的微小改善意味着工厂净利润数百万美元。