确保最佳结果
利用可靠的微量水分检测，确保LED生产用工艺气体纯度
LED生产过程使用高纯度气体。该气体大部分是氨气和氢气，结晶层在该气氛中生长，因此其纯度对LED设备的性能和质量非常重要。如果这些气体中出现微量水分，氧原子会污染LED零件的晶体结构。该污染会减少LED光输出，破坏LED设备的电流-电压特性。结果导致LED性能和商用价值降低。
Gaskleen Pico1000分析系统可早期预警净化器寿命并鉴定有害水分。理想用于以小巧型移动平台验证和分析超高纯度气体。它装有使用微电机系统（MEMS）的直列式分析系统，通过重量分析检测选择工艺气体中的水分浓度。采用先进的MEMS技术，可检测ppt水平，便携式设计可用于现场的许多关键地点。
工艺气体流过流量（质量）控制器，其中预浓缩器MEMS使用专有涂层捕获水分子。分析过程完成后，预浓缩器即时加热蒸发汇集的水分。谐振器以MHz的频率范围振动，与预浓缩器配合工作。振动器采用专有设计和化学选择性涂层，增强水分与预浓缩器的脱附和吸收。这使得系统能够快速捕获和测量样品水分质量，获取信息的速度业界领先。
Gaskleen Pico1000分析系统可移动使用，可便携和即插即用。快速的数据采集以及行业领先的响应时间，可缩短生产停机时间并降低成本。可检测<300份/万亿（ppt）浓度的水分，可比其它分析系统减少70%的气体消耗，从而实现更大节约。
Gaskleen Pico1000分析系统可快速高效检测工艺气体中的水分含量和质量。如需了解更多信息，请立即联系颇尔专家。
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