光刻

颇尔光刻过滤器

我们的光刻过滤器可有效滤除光刻工艺化学品中的污染物和缺陷。它们可减少化学品废物以及缩短更换过滤器相关的启动时间,实现更好的滤除...

化学相容

光刻过滤器-减少涂层缺陷和提高产率

光刻涂层需要避免颗粒、金属、有机材料和气泡。为了避免涂层出现缺陷,过滤器的滤留率必须非常高,同时可将污染源降至最低。颇尔光刻过滤器可选各种膜材,可有效清除光刻工艺化学品中的污染物和缺陷。它们可减少化学品废物以及缩短更换过滤器相关的启动时间,比原有产品提供更佳的清除特征和超级初始清洁度。

 

在选择合适的光刻过滤器时,必须考虑几个因素。主体过滤器和使用点(POU)分配过滤器可避免有害颗粒沉积。POU过滤器是精密分配系统的一部分,要小心选择该过滤器,以减少晶圆表面上的缺陷。使用点分配采用优化设计、扫过流路设计和优异的冲洗特征都很关键。

 

除了清除颗粒和凝胶外,POU过滤器选择的关键因素还包括尽量少形成微泡、减少化学品消耗和良好相容性。颇尔过滤器采用优化设计,可与各种光刻溶剂化学相容,包括PGMEA、PGME、EL、GBL和环丙烷。启动时可减少化学品使用,使用大型表面积。因此,低压差实现最高凝胶清除效率和生成最少微泡。在工艺过程中,光化学品从高压向低压分配时,低工作压力确保过滤器不会导致光化学品脱气。

 

优点:

  •  缩短设备关闭时间
  • 提高产率
  • 增加化学品和分配喷嘴寿命
  • 各种滤膜用于各种光刻应用
  • 快速通风设计(产生最少微泡)
  • 减少化学品废物

 

我们的光刻过滤器技术使制造过程流线化,缩短分配系统关闭时间,减少晶圆表面缺陷。有关更多信息,请联系颇尔专家咨采购信息。     

有关提高工艺效率的更多信息,请联系我们的过滤专家团队。

 

Country
  • Afghanistan
  • Albania
  • Algeria
  • American Samoa
  • Andorra
  • Angola
  • Anguilla
  • Antarctica
  • Antigua and Barbuda
  • Argentina
  • Aruba
  • Australia
  • Austria
  • Bahamas
  • Bahrain
  • Bangladesh
  • Barbados
  • Belgium
  • Belize
  • Benin
  • Bermuda
  • Bhutan
  • Bolivia
  • Botswana
  • Brazil
  • British Indian Ocean Territory
  • Brunei Darussalam
  • Bulgaria
  • Burkina Faso
  • Burundi
  • Cambodia
  • Cameroon
  • Canada
  • Cape Verde
  • Cayman Islands
  • Chad
  • Chile
  • China
  • Christmas Island
  • Cocos (Keeling) Islands
  • Colombia
  • Comoros
  • Cook Islands
  • Costa Rica
  • Croatia
  • Cuba
  • Cyprus
  • Czech Republic
  • Denmark
  • Djibouti
  • Dominica
  • Dominican Republic
  • Ecuador
  • Egypt
  • El Salvador
  • Equatorial Guinea
  • Eritrea
  • Estonia
  • Ethiopia
  • Falkland Islands
  • Faroe Islands
  • Fiji
  • Finland
  • France
  • French Guiana
  • French Polynesia
  • French Southern Territories
  • Gabon
  • Gambia
  • Germany
  • Ghana
  • Gibraltar
  • Greece
  • Greenland
  • Grenada
  • Guadeloupe
  • Guam
  • Guatemala
  • Guinea
  • Guinea-Bissau
  • Guyana
  • Haiti
  • Honduras
  • Hong Kong
  • Hungary
  • Iceland
  • India
  • Indonesia
  • Iraq
  • Ireland
  • Israel
  • Italy
  • Jamaica
  • Japan
  • Jordan
  • Kenya
  • Kiribati
  • Kuwait
  • Laos
  • Latvia
  • Lebanon
  • Lesotho
  • Liberia
  • Libya
  • Liechtenstein
  • Lithuania
  • Luxembourg
  • Macao
  • Madagascar
  • Malawi
  • Malaysia
  • Maldives
  • Mali
  • Malta
  • Marshall Islands
  • Martinique
  • Mauritania
  • Mauritius
  • Mayotte
  • Mexico
  • Monaco
  • Mongolia
  • Montserrat
  • Morocco
  • Mozambique
  • Myanmar
  • Namibia
  • Nauru
  • Nepal
  • Netherlands
  • Netherlands Antilles
  • New Caledonia
  • New Zealand
  • Nicaragua
  • Niger
  • Nigeria
  • Niue
  • Norfolk Island
  • Northern Mariana Islands
  • Norway
  • Oman
  • Pakistan
  • Palau
  • Palestinian Territory
  • Panama
  • Papua New Guinea
  • Paraguay
  • Peru
  • Philippines
  • Poland
  • Portugal
  • Puerto Rico
  • Qatar
  • Romania
  • Rwanda
  • Samoa
  • Saudi Arabia
  • Senegal
  • Seychelles
  • Sierra Leone
  • Singapore
  • Slovakia
  • Slovenia
  • Solomon Islands
  • Somalia
  • South Africa
  • Spain
  • Sri Lanka
  • St Kitts and Nevis
  • St Lucia
  • Sudan
  • Suriname
  • Swaziland
  • Sweden
  • Switzerland
  • Taiwan
  • Thailand
  • Togo
  • Tonga
  • Trinidad and Tobago
  • Tunisia
  • Turkey
  • Tuvalu
  • Uganda
  • United Arab Emirates
  • United Kingdom
  • United States
  • Uruguay
  • Vanuatu
  • Venezuela
  • Vietnam
  • Virgin Islands
  • Western Sahara
  • Yemen
  • Zambia
  • Zimbabwe
Choose Industry
  • Aerospace
  • Biotech
  • Chemicals & Polymers
  • Food & Beverage
  • Industrial Manufacturing
  • Laboratory
  • Medical
  • Microelectronics
  • Oil & Gas
  • Power & Utilities
Choose Support Type
  • General Inquiry
  • Pricing / Quotation
  • Technical Help
Would you like to receive more information about Pall’s products and services, and related products and services from Pall’s related companies?

Thank You

We will get in touch with you very shortly.

让我们一起找到最好的解决方案。

让我们保持联系。我们希望立即与您分享我们的创新过滤解决方案。联系我们知识广博的行业专家,了解我们如何为您提供帮助。感谢您的咨询,我们期待很快能为您尽到绵薄之力。