颇尔光刻过滤器

光刻涂层需要避免颗粒、金属、有机材料和气泡。为了避免涂层出现缺陷，过滤器的滤留率必须非常高，同时可将污染源降至最低。颇尔光刻过滤器可选各种膜材，可有效清除光刻工艺化学品中的污染物和缺陷。它们可减少化学品废物以及缩短更换过滤器相关的启动时间，比原有产品提供更佳的清除特征和超级初始清洁度。

在选择合适的光刻过滤器时，必须考虑几个因素。主体过滤器和使用点（POU）分配过滤器可避免有害颗粒沉积。POU过滤器是精密分配系统的一部分，要小心选择该过滤器，以减少晶圆表面上的缺陷。使用点分配采用优化设计、扫过流路设计和优异的冲洗特征都很关键。

除了清除颗粒和凝胶外，POU过滤器选择的关键因素还包括尽量少形成微泡、减少化学品消耗和良好相容性。颇尔过滤器采用优化设计，可与各种光刻溶剂化学相容，包括PGMEA、PGME、EL、GBL和环丙烷。启动时可减少化学品使用，使用大型表面积。因此，低压差实现最高凝胶清除效率和生成最少微泡。在工艺过程中，光化学品从高压向低压分配时，低工作压力确保过滤器不会导致光化学品脱气。

优点：

•  缩短设备关闭时间
• 提高产率
• 增加化学品和分配喷嘴寿命
• 各种滤膜用于各种光刻应用
• 快速通风设计（产生最少微泡）
• 减少化学品废物

我们的光刻过滤器技术使制造过程流线化，缩短分配系统关闭时间，减少晶圆表面缺陷。有关更多信息，请联系颇尔专家咨采购信息。