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特性

会议预告︱洁净度即竞争力:先进制程背后的过滤技术革命

2026半导体生态发展大会将于9月18-19日在上海科技大学会议中心拉开帷幕,汇聚行业专家共话半导体产业未来。颇尔中国微电子事业部技术支持经理周履安将于9月18日14:30现场发表《过滤技术,先进半导体制造的基石》主题演讲。

周履安

 

颇尔(中国)有限公司

 

微电子事业部,技术支持经理

演讲主题:

《过滤技术,先进半导体制造的基石》

 

演讲时间:

9月18日14:30-14:50

随着人工智能、大数据和高性能计算的快速发展,全球半导体产业正迎来新一轮技术升级。先进制程持续向更小节点演进,3D堆叠、Chiplet等创新架构快速普及,芯片集成度和复杂度不断提升。

 

与此同时,制造过程对于洁净度的要求也达到前所未有的高度。在纳米级工艺条件下,微小颗粒、金属离子、分子杂质甚至气泡缺陷,都可能被成倍放大,最终影响器件性能和生产良率。从这个意义上说,先进半导体制造的竞争,既是工艺技术的竞争,也是洁净控制能力的竞争。

 

作为全球过滤、分离与纯化技术的重要提供者,颇尔(Pall Corporation)正通过覆盖关键工艺环节的解决方案,以及持续深化的本土化布局,为先进制程的发展提供支撑。

01 洁净控制贯穿先进制造全流程

在现代晶圆厂中,过滤技术并非单一工序的辅助环节,而是贯穿气体供应、光刻、湿法工艺以及CMP抛光等多个关键节点。

 

围绕这些关键环节,颇尔形成了覆盖气体纯化、光刻化学品过滤、湿法化学品过滤和CMP浆料过滤的完整产品组合,包括Gaskleen气体纯化器、光刻用高性能过滤器、湿法工艺用高洁净化学品过滤器,以及面向先进平坦化应用的CMP过滤产品,帮助客户从源头供应到工艺使用端持续控制污染风险。

02 本土化布局提升服务响应能力

面对快速增长的亚太半导体市场,颇尔持续加强本地研发、制造与供应链建设。

 

2022年,颇尔投资1100万美元扩建北京工厂微电子产品产能;2023年,北京亦庄园区内Gaskleen和Profile II生产线正式投产;2024年,颇尔新加坡先进制造基地投入运营,进一步强化亚太供应链保障能力。

 

通过全球技术平台与本地制造能力的协同,颇尔不断提升对区域客户需求的快速响应能力,为先进制造企业提供更加稳定、高效的供应支持。

03 从产品到服务 构建全周期支持体系

除了产品技术创新之外,颇尔还建立了覆盖销售、实验室和现场服务的SLS支持体系。

 

依托在半导体工艺与过滤技术领域的长期积累,颇尔团队能够从工艺分析、产品选型到现场问题解决,为客户提供专业支持。

 

针对颗粒污染、金属离子污染等复杂工艺挑战,颇尔还推出CIP(Customer Improvement Program)客户改进项目,通过深入分析客户制程需求,提供定制化解决方案,帮助提升良率表现并降低运营成本。

04 八十年技术积累持续赋能未来创新

自1946年成立以来,颇尔始终专注于过滤、分离与纯化技术创新。

 

从工业过滤到生命科学,再到今天的先进半导体制造领域,颇尔不断推动过滤精度和工艺可靠性的提升,逐步成长为全球半导体产业链中的重要合作伙伴。

 

在AI、高性能计算和先进封装持续发展的背景下,洁净控制正成为支撑下一代芯片制造的重要基础能力。未来,颇尔将继续依托全球技术积累与本地化服务网络,为半导体产业创新发展提供更加可靠的技术支撑。

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