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特性

邀请函︱颇尔重磅亮相SEMICON 2026!四大方案守护芯片制造,诚邀共探芯机遇

 

半导体产业每一次技术突破都离不开产业链上下游的系统创新。作为半导体领域盛会,SEMICON 2026汇聚全球前沿技术、链接产业优质资源。2026年3月25日-27日,颇尔中国将携半导体核心解决方案重磅亮相上海新国际博览中心N4馆4471展位,以专业技术实力为芯片制造保驾护航,邀您莅临这场行业盛会共话 “芯” 未来!

 

颇尔核心解决方案提供全“芯”守护

气体纯化解决方案

 

分子杂质已成为晶圆体缺陷的重要源头,惰性气体、稀有气体、腐蚀性气体等气流中的微量杂质,都可能影响后续工艺的稳定性。颇尔气体净化解决方案,专为去除分子杂质而来,可有效排除水分、氧气、二氧化碳等多种杂质,且不产生二次有害污染。凭借定制化滤材与集成化设计,实现工艺稳定性提升、缺陷减少、拥有成本降低的多重价值,为芯片制造打下纯净的气体基础。

 

光刻解决方案

 

光刻工艺作为芯片制造的 “灵魂环节”,晶圆表面的有害颗粒物、凝胶微桥缺陷、金属污染,以及光刻化学品不达标等问题,都会直接影响良率。颇尔光刻工艺过滤解决方案,凭借高效拦截的滤膜、优化的结构设计,有效消除各类污染物,避免微泡产生、缩短冲洗时间,同时减少启动时的化学品用量,大幅降低晶圆表面缺陷率。更能实现设备关闭时间缩短、产率提升的目标,让光刻工艺更精准、更高效。

 

湿式工艺解决方案

 

湿式清洗与刻蚀是芯片电路制造的关键步骤,化学药水的污染,会引发蚀刻速率下降、蚀刻不均匀、芯片缺陷增加甚至设备损坏等一系列问题。颇尔湿式蚀刻过滤解决方案,精准捕获各类微小颗粒与污染物,可适配 HF、BOE 等多种稀释及腐蚀性化学品,高效控制临界尺寸颗粒,保持流体高纯度,同时将金属离子析出量控制在低水平,为湿式蚀刻与后续清洗环节提供稳定、纯净的化学环境,保障蚀刻工艺的一致性与稳定性。

 

CMP解决方案

 

CMP化学机械抛光是实现晶圆全局平坦化的核心工艺,研磨颗粒团聚、化学药剂污染、微生物滋生等问题,都会造成晶圆划伤、凹坑、抛光速率不均等致命缺陷,一次过滤失误就可能造成百万级损失。颇尔CMP工艺过滤解决方案,精准控制浆料颗粒尺寸、形状与浓度,将大颗粒密度稳定在工艺参数范围内,有效减少各类制程缺陷,提升工艺控制与稳定性。同时还能延长过滤器寿命、提高浆料通量、降低浆料供应系统维护频率,在实现原子级平坦化的同时,为企业降低综合拥有成本。

 

锁定SEMICON展位留言赢取神秘好礼

 

此次 SEMICON 2026,颇尔不仅将现场展示四大核心解决方案,更有专业技术专家团队坐镇展位,带来芯片过滤纯化技术要点。在直击现场精彩之前,我们还为您准备了有趣的有奖留言互动。对于颇尔此次在 SEMICON 2026 展会上即将展示的四大解决方案,你最想深入了解哪一个?期待从现场获得哪些具体信息?在本文下方留下您的回答,我们将结合留言质量与点赞数评选10名优质留言用户发放神秘奖品。

 

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February 2026